層流無塵室構成系統說明(例二)   

  1. 空調箱
  2. 送風機
  3. 中間過濾網
  4. 層流空氣分佈(內藏HEPA FILTER)
  5. 循環送風機 
  6. 排氣回風抽風機 
  7. 定風量控制器 
  8. 消音箱 (S.A)
  9. 消音箱(R.A)
  10. 排氣或回風口
  11. 無塵室內工作台

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